Формування наноструктур у монокристалічному германії за умови дислокаційно поверхневої дифузії

Abstract

Предметом розгляду даної роботи є структури обмежених розмiрiв величиною порядку декiлькох нанометрiв та технологiчнi методи, якi уможливлюють цiлеспрямоване створення таких об’єктiв i керування їхнiми властивостями. В роботi показана нова можливiсть утворення низькорозмiрних атомних структур на поверхнi Ge, властивостi яких вивченi за методами атомно-силової мiкроскопiї та раманiвської спектроскопiї комбiнацiйного розсiювання свiтла.